Kambi za kwanza za mateso za Nazi zilianza kuundwa katika Reich ya Tatu yenyewe mara tu baada ya NSDAP kuingia mamlakani. Kusudi lao la awali lilikuwa kuwatenga watu ambao walishukiwa kuwa wapinzani wa serikali mpya. Wa kwanza walioishia kwenye kambi za mateso za Wanazi huko nyuma mnamo 1933-34 walikuwa wapinzani wao wakuu tangu enzi za Jamhuri ya Weimar - wakomunisti na wasoshalisti. Tayari mnamo Julai 1933, idadi ya waliokamatwa ilifikia watu elfu 26 kote nchini. Hata hivyo, baada ya
Hatua ya kwanza, wakati Chama cha Kitaifa cha Kisoshalisti kilipoanzisha mamlaka yake kote nchini, idadi ya waliokamatwa ilipungua kidogo. Zaidi ya hayo, wengi wa wale waliokamatwa bila kustahili waliachiliwa.
Kipindi cha kabla ya vita
Duru mpya ya kukamatwa kwa watu wengi inaanza mwishoni mwa miaka ya 30. Sasa kambi za mateso za Wanazi zinajazwa tena kwa nguvu na Wayahudi wa Ujerumani. Mbali nao, mambo mbalimbali ya kijamii kama vile walevi, watu wasio na makazi na wengine mara nyingi walifika hapa. Mnamo 1938, kuhusiana na ununuzi wa kwanza wa eneo, hadi sasa bila damu (Anschluss ya Austria), idadi ya wafungwa iliongezeka zaidi. Katika kipindi hicho, kambi huanza kupata muundo wa umoja. Kambi za mateso za Nazi kwa wanawake zinaonekana,kama, kwa mfano, Ravensbrück, iliyoko Pomerania. Lakini mfumo mzima unafikia upeo wa kutisha sana tayari wakati wa kipindi cha vita.
Shughuli wakati wa Vita vya Pili vya Dunia
Wakati wa vita, mfumo wa kambi uliendelea kupanuka, ambayo ni ya asili. Mbali na wafungwa kutoka mikoa inayokaliwa kwa mabavu, idadi ya wafungwa wa kisiasa wa Ujerumani waliopinga sera ya fujo ya Ujerumani pia iliongezeka. Kuna kambi sio tu katika Reich yenyewe, lakini pia katika maeneo yaliyochukuliwa: Majdanek, Treblinka, Auschwitz na kadhaa ya wengine, zaidi au chini ya kujulikana leo. Sera ya kuwatesa watu wanaofanya mapenzi ya jinsia moja, washiriki wa madhehebu ya kidini, gypsies na Wayahudi inazidi kushika kasi. Mateso katika kambi za mateso za Nazi pia yakawa mara kwa mara. Baada ya uvamizi wa Umoja wa Kisovyeti, hatua ya kutisha zaidi katika uwepo wa miundo hii huanza. Kambi za mateso za Nazi zinageuka kihalisi kuwa viwanda vya kifo. Kwa hivyo, Auschwitz maarufu duniani imekuwa ikifanya kazi kikamilifu tangu Januari 1942. Ukweli ni kwamba ilikuwa katika kipindi hiki ambapo NSDAP hatimaye iliweka mkondo wa kuwaangamiza kabisa Wayahudi, baada ya hapo wakawa wahanga wakuu wa kambi za mateso. Kwa hivyo, Rudolf Hoess, kamanda mkuu wa Auschwitz (bila kuchanganyikiwa na mwanachama wa ngazi ya juu wa NSDAP Rudolf Hess, ambaye, zaidi ya hayo,
akiwa katika kifungo cha Uingereza) alikuwa wa kwanza kutumia fuwele za dawa iitwayo "Zyklon B" kama dutu yenye sumu. Na alijivunia sana uamuzi wake, akijisifu mara kwa mara kati ya Wanazimaafisa kwamba hii iliruhusu kuongeza idadi ya waathiriwa na kufanya Auschwitz kuwa mashine ya kifo yenye ufanisi zaidi katika mfumo mzima wa Nazi. Ubunifu mwingine wa kishetani wa kambi hii ya mateso ulikuwa ujenzi wa vyumba vikubwa vya gesi, ambayo ilifanya iwezekane kuongeza matokeo yao. Kwa hivyo, mfumo wa mkusanyiko wa wakubwa wa Nazi ukawa mojawapo ya zana muhimu zaidi katika sera ya uvamizi mbaya na kuwaangamiza watu wengi katika maeneo yaliyokaliwa.